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自動薄膜計測装置(分光エリプソメーター)Auto SE

㈱堀場製作所 / HORIBA

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概要

薄膜の膜厚計測に最適な装置です。膜厚管理などのルーチンワークにご使用いただけます。
可視分光エリプソメーターをベースとした膜厚や屈折率などの薄膜計測に最適な装置です。分光エリプソメーター入門編の装置としても適しています。

特長

<特長>
○非接触かつ非破壊測定のため試料にダメージ無し
○1nm-15μmの範囲の膜厚評価が可能
○材料の光学定数(屈折率n, 消衰係数k)も評価可能
○単層膜および多層膜構造の評価も可能
○100μm角の微小領域の測定にも対応
○電動XYZステージを標準搭載し、面内分布測定に対応
○試料の表面状態や測定位置の可視化を実現
更新日:2015-11-16

スペック表

Cat. No. Auto SE
Unit Size
Size
波長範囲 450nm-1000nm
スポット径 100μm×100μm、500μm×500μmなど
Price(JPY) 12,000,000

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