KEYSTONE THE LAB OF YOUR DREAMS

Home  >  Product Detail
Back

Thickness Monitor FE-300

Otsuka Electronics Co.,Ltd. / Otsuka Electronics

Report 0Citations of the official research document
Supplier :

0 users add this to Favorite

Overview

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

Explanation

<特長>
○薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
○反射スペクトルを用いた膜厚解析
○コンパクト・低価格でありながらも非接触・非破壊で高精度測定を実現
○条件設定や測定操作が簡単!どなたでも手軽に膜厚測定が可能
○非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
○非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析(n:屈折率、k:消衰計数)が可能
<測定項目>
○絶対反射率測定
○膜厚解析解析(10層)
○光学定数解析(n:屈折率、k:消衰計数)
<用途>
○機能性フィルム、プラスチック
透明導電膜(ITO、銀ナノワイヤー)、位相差フィルム、偏光フィルム、ARフィルム、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、接着剤、粘着剤、プロテクトフィルム、ハードコート、耐指紋剤など
○半導体
化合物半導体、Si、酸化膜、窒化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、 SOI、Sapphire、など
○表面処理
DLCコート、防錆剤、防曇剤、など
○光学材料
フィルタ、ARコート、など
○FPD
LCD(CF、ITO、LC、PI)、OLED(有機膜、封止剤)、など
○その他
HDD、磁気テープ、建材、など
Update:2015-11-10

Spec sheet

Cat.No. FE-300UV
Unit Size
Size <280(W)×570(D)×350(H)mm、約24kg
タイプ 薄膜測定タイプ
サンプルサイズ 最大8インチウェハ(厚さ5mm)
測定膜厚範囲 10nm~20μm
測定波長範囲 300nm~800nm
膜厚精度 ±0.2nm以内*2
繰り返し精度 0.1nm以内*3
測定時間 0.1s~10s以内
スポット径 約φ3mm
光源 重水素とハロゲンの混合
インターフェイス USB
ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析、最小二乗法解析
オプション 材料評価ソフトウェア、ポスト解析ソフトウェア、膜モデル解析、リファレンスプレート
Price(JPY) 3,500,000~

©2013 KEYSTONE, co. ltd.Privacy Policy

page top